2023年6月2日上午,应物理与电子工程学院和甘肃省原子分子物理与功能材料重点实验室邀请,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所潘其坤研究员、赵崇霄助理研究员应邀来我校进行学术交流。交流会上潘其坤研究员作了题为“CO2激光器驱动的极紫外光刻光源研究进展”的报告。本次交流由物电学院院长张登红教授主持,董晨钟教授、苏茂根教授、孙对兄副教授、敏琦副教授、曹世权副教授参与出席了本次交流会。
【潘其坤助理研究员简介】
潘其坤,男,博士,研究员,2014年7月在中科院长春光机所获光学工程专业博士学位,同年在长春光机所参加工作,主要从事中红外固体激光、高功率气体激光技术研究。作为项目负责人主持国家自然科学基金1项,重点实验室基金2项,参与国际合作基金、863、国防预研等项目十余项。近年来在国内外期刊上共发表SCI/EI学术论文26篇,其中以第一作者发表SCI/EI论文篇,出版学术专著1本,译著2本,授权国家发明专利1项。2018年入选中国科学院长春光机所曙光人才培养计划。